设备名称

磁控溅射仪

英文名称

Magnetron Sputtering Equipment

仪器类型

材料薄膜制备

规格型号

菲尔姆SCS-350

仪器类别

通用

生产厂商

湖南菲尔姆真空设备有限公司

所在单位

黄淮学院

能源工程学院

管理员

郭晓雷

联系电话

0396-2853410

仪器地址

黄淮学院7号教学楼114

技术指标

1. 水冷式溅射源，通用2英寸设计

2. MFC流量计高精度控制过程气体

3. DC/RF溅射电源可选

4. 全自动触摸屏控制方案

5. 最多2个溅射源

6. 500℃衬底加热

7. 衬底旋转，Z向调节

主要功能

用于溅射金属和/或者陶瓷膜层

服务内容

对固定参数样片制备

用户须知

仪器设有专门仪器管理员，需要提前预约使用。

收费标准

校外800元/每样,校内400元/每样

设备图片