原子力显微镜（Atomic Force Microscope ，AFM），是一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。在材料科学领域，原子力显微镜不但可以获得材料表面的3D形貌、表面粗糙度和高度等信息，而且可以获得材料表面物理性质分布的差异，如摩擦力压电特性、磁学性质等。在半导体工业领域，原子力显微镜可以检测基片表面抛光缺陷、图形化结构、薄膜表面形貌以及定量的表面粗糙度数据和深度信息，同时可以检测表面缺陷，有利于半导体材料的可靠性、均一性和失效性分析。